技術名稱

光柵檢測裝置及其檢測方法

特色：大面積光柵參數快速檢測，包含光柵週期與繞射效率。

優點：取代傳統原子力顯微鏡掃描速度太慢的問題。

技術所屬領域

 ■光電 □電子 □資訊 □通訊 □生技 □醫藥  □農業 □食品 □材料 □化工 □奈米

 □先進製造與系統  □能源  □環境  □工商業設計 □其他

適用產業與產品別：光電子材料元件與模組

智慧財產權種類

□技術知識(know-how)：

■專利權：

　　■發明專利，已核准國家：中華民國

　　□新型專利

　　□設計專利

□著作權

聯絡方式

施先生07-5252000  #2625