【獲證專利公告】恭賀! 物理系羅奕凱教授及團隊之研究成果「鎂摻雜氮化鎵薄膜的製造方法」獲得中華民國發明專利
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發明人 |
羅奕凱教授 |
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系所 |
物理系 |
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專利名稱 |
鎂摻雜氮化鎵薄膜的製造方法 |
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證書號 |
I839273 |
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公告日期 |
113年4月11日 |
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專利摘要 |
一種鎂摻雜氮化鎵薄膜的製造方法，包含：提供一基板；以及將一氮電漿、一鎂分子束及一鎵分子束供應至該基板，以進行一分子束磊晶反應，其中，在該分子束磊晶反應期間，該氮電漿及該鎂分子束係持續供應至該基板，而該鎵分子束係間歇性供應至該基板。 |
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技轉服務窗口 |
卓妤芸小姐 Email：chosml@mail.nsysu.edu.tw(分機2627) 施宇翔先生Email：seanshih@mail.nsysu.edu.tw(分機2625) |
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