【獲證專利公告】恭賀! 電機系劉漢胤副教授及團隊之研究成果「半導體元件之製造方法及半導體裝置」獲得中華民國發明專利
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發明人 |
劉漢胤副教授 |
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系所 |
電機系 |
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專利名稱 |
半導體元件之製造方法及半導體裝置 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME |
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證書號 |
I852483 |
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公告日期 |
113年8月11日 |
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專利摘要 |
本發明揭露一種半導體元件之製造方法，將一第一氣霧導入一非真空腔室中，以霧化沈積一半導體薄膜於一基板上，再將一第二氣霧導入該非真空腔室中，臨場摻雜該半導體薄膜，提昇該半導體薄膜之電子濃度，最後形成一導體薄膜於完成摻雜的該半導體薄膜上，以取得一半導體元件，該半導體元件可應用於一半導體裝置中。 |
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技轉服務窗口 |
卓妤芸小姐 Email：chosml@mail.nsysu.edu.tw(分機2627) 施宇翔先生Email：seanshih@mail.nsysu.edu.tw(分機2625) |
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