【獲證專利公告】恭賀! 電機系劉漢胤副教授及團隊之研究成果「薄膜電晶體及其製造方法」獲得中華民國發明專利
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發明人 |
劉漢胤副教授 |
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系所 |
電機系 |
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專利名稱 |
薄膜電晶體及其製造方法 |
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證書號 |
I814578 |
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公告日期 |
112年9月1日 |
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專利摘要 |
本發明揭露一薄膜電晶體及其製造方法，該薄膜電晶體可為下閘極式或上閘極式，該薄膜電晶體具有一基板、一第一絕緣薄膜、一第二絕緣薄膜、一半導體薄膜及一導電薄膜，該導電薄膜經圖案化後可形成一源極電極、一汲極電極及一閘極電極，該第二絕緣薄膜具有複數個接觸窗口，用以顯露該源極電極、該汲極電極及該閘極電極，該薄膜電晶體之薄膜可全為氧化物薄膜，且可選擇於非真空環境下沈積氧化物薄膜，有利於降低大尺寸顯示器之製造成本。 |
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技轉服務窗口 |
卓妤芸小姐 Email：chosml@mail.nsysu.edu.tw(分機2627) 施宇翔先生Email：seanshih@mail.nsysu.edu.tw(分機2625) |
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