【獲證專利公告】恭賀! 電機系劉漢胤副教授及團隊之研究成果「氧化物薄膜之製造方法及包含氧化物薄膜之半導體元件」獲得中華民國發明專利
|
發明人 |
劉漢胤副教授 |
|
系所 |
電機系 |
|
專利名稱 |
氧化物薄膜之製造方法及包含氧化物薄膜之半導體元件 Method for forming oxide-based thin film and semiconductor device including oxide-based thin film |
|
證書號 |
I790667 |
|
公告日期 |
112年1月21日 |
|
專利摘要 |
本發明揭露一種氧化物薄膜之製造方法，用以製造一半導體元件之一氧化物薄膜，將一前驅物氣霧導入一非真空腔室內進行一沈積/退火循環步驟，該沈積/退火循環步驟係依序且反覆進行一霧化步驟、一沈積步驟及一退火步驟兩次以上，使該氧化物薄膜成長於一載板表面。 |
|
技轉服務窗口 |
卓妤芸小姐(分機2627) 施宇翔先生(分機2625) |
瀏覽數:
