【獲證專利公告】恭賀! 材光系張六文教授及團隊之研究成果「包含c面單晶二氧化銅鋁層的複合板的製造方法」獲得中華民國發明專利
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發明人 |
張六文教授 |
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系所 |
材光系 |
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專利名稱 |
包含c面單晶二氧化銅鋁層的複合板的製造方法 |
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證書號 |
I786994 |
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公告日期 |
111年12月11日 |
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專利摘要 |
一種包含c面單晶二氧化銅鋁層的複合板的製造方法，用以解決習知坩堝法需要進行化學蝕刻的問題。該製造方法包含：於無晶型多孔氧化鋁板的第一表面上形成銅氧化物漿，續於該銅氧化物漿上覆蓋藍寶石基板，使該藍寶石基板的第二表面接觸該銅氧化物漿，以形成一三明治結構；將該三明治結構以該藍寶石基板在上，該無晶型多孔氧化鋁板在下的方式置入鍛燒爐中，並於1100~1250℃之溫度下，鍛燒該三明治結構1~5小時；及移除經鍛燒之三明治結構的無晶型多孔氧化鋁板，以獲得一複合板，該複合板包含該藍寶石基板及c面單晶二氧化銅鋁層。 |
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卓妤芸(分機2627) |
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