【獲證專利公告】恭賀!物理系張鼎張教授及團隊之研究成果「氮化鎵高電子移動率電晶體的缺陷檢測方法」獲得中華民國專利
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發明人 |
張鼎張教授 |
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系所 |
物理系 |
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專利名稱 |
氮化鎵高電子移動率電晶體的缺陷檢測方法 |
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證書號 |
I771983 |
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公告日期 |
111年7月21日 |
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專利摘要 |
一種氮化鎵高電子移動率電晶體的缺陷檢測方法，用以解決習知的缺陷檢測方法難以確認缺陷部位及測試過程緩慢的問題。係包含：測量一氮化鎵高電子移動率電晶體的數個電性特徵；將該氮化鎵高電子移動率電晶體進行劣化測試後，再測量該數個電性特徵；以不同波長之數個光源輪流照射該氮化鎵高電子移動率電晶體，測量各該光源照射時的該數個電性特徵；及比對該數個電性特徵在上述步驟的變化，判斷該氮化鎵高電子移動率電晶體的缺陷部位。 |
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卓妤芸(分機2627) |
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