一種薄膜電晶體的製造方法，用以解決習知薄膜電晶體在防止氫擴散的製程效率低的問題。係包含：以一氣相沉積技術在一基板上形成數層薄膜及數個電極；及在氣相沉積過程中導入一含氟氣體，形成至少一層的含氟薄膜，藉由氟中和擴散至該數層薄膜的氫含量。