一種氣體感測器製造方法，用以解決習知氣體感測器的靈敏度受環境濕度影響且隨時間衰退的問題。係包含：一沉積製程，以沉積方法在一基板上堆疊一加熱元件、一感測層及二電極；及一摻雜製程，在沉積該感測層時，導入一摻雜氣體。