一種薄膜電阻，用以解決習知薄膜電阻容易受電化學腐蝕及散熱性差的問題。係包含：一基板，具有一承載面；一電阻層，位於該承載面；及一金屬保護層，位於該電阻層相對於該承載面的另一表面，該金屬保護層係由鉭、鉿、鎢、銀、鉑、鈀、釕或上述元素的合金所構成。