【獲證專利公告】恭賀! 物理系張鼎張教授及團隊之研究成果「薄膜電阻的製造方法」獲得中華民國發明專利
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發明人 |
張鼎張教授 |
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系所 |
物理系 |
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專利名稱 |
薄膜電阻的製造方法 |
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證書號 |
I708856 |
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公告日期 |
109年11月1日 |
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專利摘要 |
一種薄膜電阻的製造方法，用以解決習知薄膜電阻的電阻率難以提升的問題。係包含：將數種金屬元素以同時且同功率之氣相沉積方法形成一合金薄膜於一基板上，該數種金屬元素為第五週期以上之高週期元素，各該金屬元素在該合金薄膜中之百分比含量係一元素比例，該數個元素比例彼此之間的差距不大於10%。
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技轉服務窗口 |
邱識蓉(分機2625) |
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