【獲證專利公告】恭賀! 光電系洪勇智副教授及團隊之研究成果「光柵檢測裝置及其檢測方法」獲得中華民國發明專利
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發明人 |
洪勇智副教授 |
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系所 |
光電系 |
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專利名稱 |
光柵檢測裝置及其檢測方法 |
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證書號 |
I667448 |
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公告日期 |
108年8月1日 |
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專利摘要 |
本發明提供一種光柵檢測裝置及其檢測方法。該光柵檢測裝置包含一待測物載台，水平可移動地設置於一第一滑軌上，用以承載一基板，其中該基板具有一光柵結構；一雷射光源，設置於該待測物載台上方，用以提供一雷射光束，其中該雷射光束具有一波長，並且以一入射角入射到該基板上；一光偵測器，可移動且可轉動地設置於一第二滑軌上，用以捕捉從該基板出射的一繞射光，其中該第二滑軌與該第一滑軌彼此平行；以及一數據處理器，與該光偵測器相連接，用以計算及輸出該光柵結構的一週期。該檢測方法使用該光柵檢測裝置以獲得該光柵結構的該週期。
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邱識蓉(分機2625) |
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