【獲證專利公告】恭賀! 電機系黃義佑教授及團隊之研究成果「彎曲平板波感測器及其製作方法」獲得中華民國發明專利!
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發明人 |
黃義佑教授 |
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系所 |
電機系 |
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專利名稱 |
彎曲平板波感測器及其製作方法 |
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證書號 |
I639225 |
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公告日期 |
107年10月21日 |
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專利摘要 |
一種彎曲平板波感測器包含一基板、一壓電薄膜及一指叉電極結構，該基板之上表面凹設有一反射閘極溝槽結構，該基板之下表面凹設有一感測腔，該壓電薄膜形成於該上表面，且該反射閘極溝槽結構圍繞該壓電薄膜，該指叉電極結構形成於該壓電薄膜上，其中，該反射溝槽結構及該指叉電極結構是呈同心圓排列，使得該指叉電極結構接收到電訊號後，壓電薄膜產生之各個方向的表面聲波能被反射閘極溝槽結構反射，而減少該彎曲平板波的插入損失。
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技轉服務窗口 |
曾溫仁(分機2621) |
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