【獲證專利公告】恭賀! 光電系洪勇智教授及團隊之研究成果「平坦化干涉微影裝置」獲得中華民國發明專利!
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發明人 |
洪勇智教授 |
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系所 |
光電系 |
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專利名稱 |
平坦化干涉微影裝置 |
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證書號 |
I596448 |
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公告日期 |
106年8月21日 |
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專利摘要 |
本發明提供一種平坦化干涉微影裝置，其包含一雷射光源，用以提供一同調雷射光束；一第一擴束器，用以調整該雷射光束的直徑；一折射型整束器，用以將該雷射光束的高斯分佈強度轉換成平坦分佈強度，並輸出一第一平行光束；一第二擴束器，用以接收該第一平行光束並輸出一第二平行光束；一載台，用以承載一基板；以及至少一反射鏡，用以接收並反射該第二平行光束以形成第三平行光束，使第二與第三平行光束以一預設角度入射該基板並在該基板上形成一干涉圖案。
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技轉服務窗口 |
曾溫仁(分機2621) |
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