【獲證專利公告】恭賀!物理系張鼎張教授及團隊之研究成果「薄膜電晶體的製作方法」獲得中華民國發明專利!
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發明人 |
張鼎張教授 |
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系所 |
物理系 |
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專利名稱 |
薄膜電晶體的製作方法 |
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證書號 |
I 565080 |
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公告日期 |
106年1月1日 |
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專利摘要 |
本發明揭示一種薄膜電晶體的製作方法，用於解決習知薄膜電晶體中透明導電膜的接觸電阻過大問題，該製作方法之步驟包含：於一基板上形成一電晶體雛型，該電晶體雛型具有二透明電極，用以作為一薄膜電晶體之一源極及一汲極；及將該電晶體雛型的二透明電極裸露於充滿電漿的環境中，使電漿對該電晶體雛型的二透明電極進行表面處理，用以製成該薄膜電晶體。藉此，可確實解決上述問題。
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曾溫仁(分機2621) |
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