【獲證專利公告】恭賀!物理系張鼎張教授及團隊之研究成果「薄膜電晶體製作方法」獲得中華民國發明專利!
|
發明人 |
張鼎張教授 |
|
系所 |
物理系 |
|
專利名稱 |
薄膜電晶體製作方法 |
|
證書號 |
I 560782 |
|
公告日期 |
105年12月1日 |
|
專利摘要 |
本發明揭示一種薄膜電晶體製作方法，用於解決低溫製程導致電晶體缺陷過多的問題，該薄膜電晶體製作方法的步驟包含於一基板上形成一電晶體雛型，該電晶體雛型之表面具有至少一待處理部；及將該電晶體雛型的待處理部裸露於充滿超臨界流體的環境中，使超臨界流體對該電晶體雛型的待處理部進行表面處理，用以製成一薄膜電晶體。藉此，可確實解決上述問題。
|
|
|
|
|
技轉服務窗口 |
曾溫仁(分機2621) |
瀏覽數:
