【獲證專利公告】恭賀!電機系陳英忠教授及團隊之研究成果「流體感測器及其製造方法」獲得中華民國發明專利!
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發明人 |
陳英忠教授 |
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系所 |
電機系 |
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專利名稱 |
流體感測器及其製造方法 |
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證書號 |
I 507683 |
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公告日期 |
104年11月11日 |
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專利摘要 |
一種流體感測器及其製造方法。此製造方法包含如下步驟：形成一第一電極層於基板的一側；蝕刻該基板，以形成一空腔；形成一壓電層於基板的該側；形成一第二電極層於該壓電層上；形成一接合金屬層於該空腔內，並位於該第一電極層上；以及形成一流體檢測金屬層於該接合金屬層上。
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技轉服務窗口 |
田勝侑(分機2625) |
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