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發明人 |
羅奕凱教授 |
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系所 |
物理系 |
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專利名稱 |
閃鋅礦結構三族氮化物之製造方法及具有閃鋅礦結構三族氮化物之磊晶結構 |
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證書號 |
I 456094 |
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公告日期 |
103年10月11日 |
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專利摘要 |
一種閃鋅礦結構三族氮化物之製造方法，其步驟係包含：備妥一γ相三氧化二鎵基材；及控制製程溫度小於420度，且周圍環境中三族元素與氮之比值小於2.0，使一閃鋅礦結構三族氮化物層磊晶成長於該γ相三氧化二鎵基材。另，一種具有閃鋅礦結構三族氮化物之磊晶結構，包含：一γ相三氧化二鎵基材，具有一成長表面；及一閃鋅礦結構三族氮化物層，係設於該γ相三氧化二鎵基材之成長表面。
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曾溫仁(分機2621) |
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