【獲證專利公告】恭賀!電機系陳英忠教授及團隊之研究成果「體聲波薄膜共振器及其製造方法」獲得中華民國發明專利!
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發明人 |
陳英忠教授 |
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系所 |
電機系 |
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專利名稱 |
體聲波薄膜共振器及其製造方法 |
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證書號 |
I 440302 |
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公告日期 |
103年6月1日 |
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專利摘要 |
一種體聲波薄膜共振器，其包含一矽基板、一第一金屬層、一壓電層以及一第二金屬層，該矽基板係具有一第一表面與一第二表面，該第一金屬層係形成於該矽基板上，該第一金屬層係包含有複數個下電極，該壓電層係形成於該矽基板上並覆蓋該第一金屬層，該壓電層係至少具有一第一上電極設置區、一第二上電極設置區、一第三上電極設置區、一位於該第一上電極設置區外側之第一阻隔區、一位於該第二上電極設置區外側之第二阻隔區及一位於該第三上電極設置區外側之第三阻隔區，其中該第一阻隔區係形成有至少一第一溝槽，該第二阻隔區係形成有至少一第二溝槽，該第三阻隔區係形成有至少一第三溝槽，該第二金屬層係形成於該壓電層上，該第二金屬層係包含有一第一上電極、一第二上電極及一第三上電極，該第一上電極係位於該第一上電極設置區，該第二上電極係位於該第二上電極設置區，該第三上電極係位於該第三上電極設置區。
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技轉服務窗口 |
趙偉志(分機2625) |
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