【獲證專利公告】恭賀!材光系蔡宗鳴教授及團隊之研究成果「感應耦合電漿輔助蒸鍍方法及其系統」獲得中華民國發明專利!
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發明人 |
蔡宗鳴教授 |
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系所 |
材光系 |
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專利名稱 |
感應耦合電漿輔助蒸鍍方法及其系統 |
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證書號 |
I 431138 |
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公告日期 |
103年3月21日 |
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專利摘要 |
一種感應耦合電漿輔助蒸鍍方法及其系統包含：提供至少一蒸鍍材料於一蒸鍍裝置內；提供至少一感應耦合電漿裝置於該蒸鍍裝置上；啟動該蒸鍍裝置及感應耦合電漿裝置，以便產生一已蒸發蒸鍍材料；將該已蒸發蒸鍍材料通過該感應耦合電漿裝置而產生離子化，以產生一電漿態蒸鍍材料；及將該電漿態蒸鍍材料沉積於一基板上。
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盧加達(分機2655) |
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