【獲證專利公告】恭賀!機電系林哲信教授及團隊之研究成果「揮發性有機化合物氣體之多孔性感測晶片及其製造方法」獲得中華民國發明專利!
|
發明人 |
林哲信教授 |
|
系所 |
機電系 |
|
專利名稱 |
揮發性有機化合物氣體之多孔性感測晶片及其製造方法 |
|
證書號 |
I 431268 |
|
公告日期 |
103年3月21日 |
|
專利摘要 |
一種揮發性有機化合物氣體之多孔性感測晶片及其製造方法，其首先在一基板上製作摻雜有碳黑等導電顆粒之一感測材料層，接著再利用化學性電漿蝕刻技術來蝕刻去除位於該感測材料層表面的一阻擋層，以形成一電漿開孔表面來增加該感測材料層內的微孔及導電顆粒與外界大氣的接觸面積。藉此，使得揮發性有機化合物氣體能快速進入該感測材料層內的微孔來導通相鄰的導電顆粒，以增加電阻訊號之偵測響應速度等感測性能。
|
|
|
|
|
技轉服務窗口 |
趙偉志(分機2625) |
瀏覽數:
