【獲證專利公告】恭賀!電機系黃義佑教授及團隊之研究成果「彎曲平板波微型感測器之製造方法」獲得中華民國發明專利!
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發明人 |
黃義佑教授 |
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系所 |
電機系 |
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專利名稱 |
彎曲平板波微型感測器之製造方法 |
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證書號 |
I 420808 |
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公告日期 |
102年12月21日 |
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專利摘要 |
本發明彎曲平板波微型感測器之製造方法係以電化學矽蝕刻停止製程，蝕刻表面聲波元件之N型磊晶矽層至3μm以內，以形成彎曲平板波微型感測器，藉此，可減少懸浮薄板(N型磊晶矽層)厚度以使彎曲平板波微型感測器之工作頻率降低及提昇彎曲平板波微型感測器之感測能力。並且，本發明採用電化學矽蝕刻停止製程，可使產品具有傑出之重覆製程能力，且可精確控制蝕刻深度，以提昇彎曲平板波微型感測器之製程良率。
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趙偉志(分機2625) |
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