【獲證專利公告】恭賀!電機系黃義佑教授及團隊之研究成果「彎曲平板波過敏感測器及其製造方法」獲得中華民國發明專利!
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發明人 |
黃義佑教授 |
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系所 |
電機系 |
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專利名稱 |
彎曲平板波過敏感測器及其製造方法 |
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證書號 |
I 417544 |
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公告日期 |
102年12月1日 |
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專利摘要 |
本發明彎曲平板波過敏感測器之製造方法係以電化學矽蝕刻停止製程，蝕刻表面聲波元件之N型磊晶矽層至3 μm以內，並加入反射閘極且結合自我組裝單分子層以形成彎曲平板波過敏感測器。該反射閘極可使波傳的能量損失降低，且使後續之元件量測與電路設計更加容易。本發明之該彎曲平板波過敏感測器具有高準確度、高靈敏度、低操作頻率、檢測時間短以及成本較低等優點。
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趙偉志(分機2625) |
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