【獲證專利公告】恭賀!物理系羅奕凱教授及團隊之研究成果「氮化鎵立體磊晶結構及其製作方法」獲得中華民國發明專利!
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發明人 |
羅奕凱教授 |
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系所 |
物理系 |
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專利名稱 |
氮化鎵立體磊晶結構及其製作方法 |
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證書號 |
I 398558 |
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公告日期 |
102年6月11日 |
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專利摘要 |
一種氮化鎵立體磊晶結構及其製作方法，係包含一配置步驟將一鋁酸鋰基板及一鎵金屬源配置於高度真空之一容室內；一通氣步驟使一氮源產生電漿態之氮離子後通入該容室內；一加熱步驟加熱該鎵金屬源至產生氣態鎵；及一長晶步驟使位於該容室內之氣態鎵與電漿態之氮離子共同於該鋁酸鋰基板上形成六角錐狀或六角錐柱狀之氮化鎵立體磊晶結構。
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趙偉志(分機2625) |
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