發明人

劉承宗教授

系所

電機系

專利名稱

磁控濺鍍機

證書號

I 391514

公告日期

102年4月1日

專利摘要

一種磁控濺鍍機，其包含一載板、一磁鐵組、至少一中間磁環、一靶材以及至少一導磁鐵環，該磁鐵組係設置於該載板之一承載表面，該磁鐵組係包含有一永久磁鐵及一外部磁鐵環，該中間磁環係設置於該磁鐵組之該永久磁鐵與該外部磁鐵環之間，該靶材係設置於該磁鐵組上方且具有一朝向該承載表面之第一表面，該導磁鐵環係設置於該第一表面。

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趙偉志(分機2625)