發明人

陳英忠教授

系所

電機系

專利名稱

具光子晶體結構之表面聲波元件及其製造方法

證書號

I368767

公告日期

101年7月21日

專利摘要

一種具光子晶體結構之表面聲波元件，其包含有一基板、一光子晶體結構、一壓電薄膜以及一叉指換能器，該基板係具有一表面，該光子晶體結構係形成於該基板之該表面，該光子晶體結構係具有複數個呈週期性間隔排列之第一介質條及複數個呈週期性間隔排列之第二介質條，各該第一介質條之間係具有一空間，各該第二介質條係形成於各該空間，該壓電薄膜係形成於該光子晶體結構上，且覆蓋該些第一介質條及該些第二介質條，該叉指換能器係形成於該壓電薄膜上。

技轉服務窗口

王衍評副理(分機2625)