發明人

陳英忠教授

系所

電機系

專利名稱

薄膜體聲波共振器之製造方法

證書號

I360902

公告日期

101年3月21日

專利摘要

一種薄膜體聲波共振器之製造方法，其係至少包含提供一具有一第一表面及一第二表面之矽基板，該第一表面係形成有一保護層；形成一第一電極層於該保護層上；蝕刻該矽基板之該第二表面以形成一共振腔；形成一壓電層於該保護層上，並且該壓電層係覆蓋該第一電極層；利用一雷射光照射該壓電層並對該壓電層進行改質處理，其係使該壓電層內之組成晶粒成長；形成一第二電極層於該壓電層上。 .....

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吳姿慧小姐(分機2651)