發明人

陳英忠教授

系所

電機系

專利名稱

具雙頻響應之薄膜體聲波共振器之製造方法及其結構

證書號

I355102

公告日期

100年12月21日

專利摘要

一種具雙頻響應之薄膜體聲波共振器之製造方法，其包含提供一濺鍍設備，該濺鍍設備係至少具有一濺鍍腔室、一設置於該濺鍍腔室之傾斜載具以及至少一對應該傾斜載具而設置之靶材，該傾斜載具係具有一傾斜面及定義有一垂直該傾斜面之第一鉛垂線，該靶材係具有一對應該傾斜面之表面及定義有一垂直該表面之第二鉛垂線，該第一鉛垂線與該第二鉛垂線之間係具有一第一夾角；設置一基板於該濺鍍設備之該傾斜載具之該傾斜面，該基板係具有一上表面、一相對於該上表面之下表面以及定義有一垂直該上表面之法線，該法線係與該傾斜載具之該第一鉛垂線平行，且一第一電極層係形成於該基板之該上表面；濺鍍該靶材以產生複數個濺射靶原子(分子)，該些濺射靶原子(分子)係沈積於該第一電極層上以形成一壓電薄膜，該壓電薄膜係具有一晶格排列方向，該晶格排列方向與該基板之該法線之間係具有一第二夾角；以及形成一第二電極層於該壓電薄膜上。 .....

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