發明人

朱安國教授

系所

光電所

專利名稱

製作具金字塔結構之矽基板的蝕刻方法及其裝置

證書號

I 349963

公告日期

100年10月1日

專利摘要

一種製作具金字塔結構之矽基板的蝕刻方法及其裝置，其包含步驟：將一矽基板置放於一底座上，並藉由數個間隔單元將一氣泡控制單元設置於該底座之上方；將該底座置放於一蝕刻液中進行蝕刻反應；及將該底座連同該矽基板由該蝕刻液中取出清洗，以於該矽基板表面形成該金字塔結構。。..

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