發明人

楊台發教授

系所

機電

專利名稱

鍍膜製程的電漿反應光學監控方法

證書號

I 349768

公告日期

100年10月1日

專利摘要

本發明提供鍍膜製程的電漿反應光學監控方法，是在反應腔中設置可以接收混合波長的光的光接收器，以接收進行電漿鍍膜製程的同時，由電漿的激發光對應成長的鍍膜膜厚所產生干涉光，之後再將干涉光譜轉換成光強度依時間變化的圖譜，再以此圖譜對應得知鍍膜進行時的即時資訊，而藉著電漿本身所產生的光對應鍍膜狀態所產生的干涉光譜，即時得知並監控包含鍍膜進行時的膜厚變化，以及例如反應腔中的氣體流量、濺鍍壓力、或是電漿產生功率等製程參數變化。。..

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吳姿慧小姐(分機2651)