發明人

林哲信教授

系所

機電

專利名稱

具多孔性感測層之濕度感測器的製造方法

證書號

I 347433

公告日期

100年8月21日

專利摘要

一種具多孔性感測層之濕度感測器的製造方法，其包含：提供一基板，並在其上表面形成一下電極層；將一液態聚醯亞胺(polyimide)塗佈於該下電極層上，以形成一聚醯亞胺膜；將該基板含浸於一揮發性溶液中，使尚未固化之該聚醯亞胺膜形成數個微孔結構；固化上述處理後之該聚醯亞胺膜；以及，在該聚醯亞胺膜之上表面形成一上電極層，以完成該濕度感測器。上述塗佈及含浸之步驟亦可置換為：混合一液態聚醯亞胺及一揮發性溶液成為一混合液；以及，將該混合液塗佈於該下電極層上，以形成一聚醯亞胺膜及數個微孔結構。。..

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吳姿慧小姐(分機2651)